安捷伦 800 L/s 涡轮分子泵 TwisTorr 804 FS 将 TwisTorr 拖动级技术和安捷伦悬浮轴承 (FS) 技术相结合,具有高性能、高可靠性及经济性。这款涡轮分子泵借助涡轮级与创新的 TwisTorr 拖动级之间的协同作用,可提供更高的真空性能。悬浮轴承确保低振动和低噪音,适用于对振动敏感的仪器和工作环境。
这款配备 ISO 200K、250K 和 CFF 10 英寸抽气口法兰的 800 L/s 涡轮分子泵适用于多种应用,包括研发、UHV 系统、核研究、离子注入器、表面分析、电子显微镜和低温技术。
安捷伦还提供 TwisTorr FS-OS 涡轮分子泵,为严苛条件下长期运行的学术、研究和其他应用特殊设计。
TwisTorr 804 FS 适用于一体式控制器或机架控制器。
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抽速: | ISO200K-F | ISO250K-F | CFF10 |
N2 He H2 Ar | 720 L/s 660 L/s 485 L/s 690 L/s |
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气体通量 (*) | 风冷 (空气温度 25 °C) | 水冷 (水温 15 °C/室温 25 °C) |
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N2 | 4.3 mbar L/s 255 SCCM | 6.1 mbar L/s 367 SCCM |
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He | 7.9 mbar L/s 467 SCCM | 10.4 mbar L/s 615 SCCM |
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Ar | 1.5 mbar L/s 89 SCCM | 3.3 mbar L/s 195 SCCM |
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(*) 前级泵 11.6 m3/h |
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压缩比与前级耐压* |
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N2 He H2 Ar | > 1E + 11 2E + 08 3E + 06 1E + 11 | 10 mbar 10 mbar 4 mbar 8.5 mbar |
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(*) 前级耐压定义为,在水冷模式下,当涡轮泵仍能产生 100 的压缩比时的压力 |
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采用推荐前级泵时的极限真空 | < 1 × 10-10 mbar (< 1 × 10-10 Torr) |
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抽气口法兰 | ISO 200K,ISO 200F,ISO 250K, ISO 250F,CFF 10 英寸 |
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前级管道法兰 | NW25 或 NW40 |
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推荐的前级泵 | DS302 IDP10 IDP15 |
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操作位置 | 任意位置 |
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操作环境温度 | +5 °C 至 +35 °C |
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润滑油 | 性油脂润滑 |
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冷却要求 |
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风冷 | 空气温度 +5 °C 至 35 °C |
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水冷 | 水温由 +15 °C 至 +25 °C 水流速 100 L/h |
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噪声声压级 (全速运行时距离 1 m 处) | 43 dB(A) |
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