苏州利比特控制科技有限公司
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TwisTorr74FS安捷伦70L/s涡轮分子泵TwisTorr74FS将TiwsTorr拖动级技术和安捷伦悬浮轴承技术相结合，具有高性能、高可靠性及经济性
安捷伦 70 L/s 涡轮分子泵 TwisTorr 74 FS 将 TiwsTorr 拖动级技术和安捷伦悬浮轴承技术相结合，具有高性能、高可靠性及经济性。这款 70 L/s 涡轮分子泵借助涡轮增压技术与创新的 TwisTorr 拖动级技术之间的协同作用，可提供高真空性能。悬浮轴承确保低振动和低噪音，适用于高灵敏度仪器和工作环境。
这款小型涡轮泵适用于多种应用，包括研发、UHV 系统、核研究和电子显微镜。
TwisTorr 74 FS 可提供一体式控制器或机架控制器。
技术规格
| 技术规格 | ||||
| 抽速 | KF40 | CFF 2.75" | ISO 63 | CFF 4.5" |
| N2 He H2 Ar | 44 L/s 33 L/s 28 L/s 40 L/s | 50 L/s 40 L/s 31 L/s 51 L/s | 60 L/s 54 L/s 42 L/s 59 L/s | 60 L/s 54 L/s 42 L/s 59 L/s |
| 气体通量 (*) | 风冷 （环境温度 35 °C） | 水冷 （水温 25 °C/环境温度 35 °C） | ||
| N2 | 130 sccm | 130 sccm | ||
| Ar | 80 sccm | 80 sccm | ||
| (*) 前级泵 5 m3/h | ||||
| 压缩比与前级耐压 (**) | ||||
| N2 He H2 Ar | 1.0 × 109 2.0 × 105 1.0 × 104 > 1.0 × 109 | > 12 mbar > 10 mbar > 04 mbar > 14 mbar | ||
| (**) 前级耐压是指涡轮分子泵仍能产生 100 压缩比的压力，该压力在水冷模式下估算得出 | ||||
| 极限真空（使用推荐的前级泵） | < 5 × 10-10 mbar < 3.75 × 10-10 Torr) | |||
| 抽气口法兰 | KF 40、ISO 63、CFF 4.5"、CFF 2.75" | |||
| 前级管道法兰 | KF 16 NW | |||
| 转速 | 70000 rpm（1167 Hz 驱动频率） | |||
| 启动时间 | < 2 分钟 | |||
| 推荐的前级泵 | Agilent DS 40M/DS 102 旋片泵 Agilent IDP-3/IDP-7 涡旋式干泵 | |||
| 操作位置 | 任意位置 | |||
| 操作环境温度 | +5 °C 至 +35 °C | |||
| 空气相对湿度 | 0%–90%（无冷凝） | |||
| 烘烤温度 | 在入口法兰处，ISO 为 80 °C（CFF 为 120 °C） | |||
| 润滑油 | 性润滑 | |||
| 冷却要求 | ||||
| 风冷 | 加压空气冷却（环境温度 5–35 °C） 气流温度 +5° C 至 +35 °C | |||
| 水冷 | 水温 +15 °C 至 +25 °C 水流速 65 L/h | |||
| 噪声声压级（全速运行时距离 1 m 处） | 40 dB(A) | |||
| 储存温度 | -40 °C 至 +70 °C | |||
| 海拔 | 3000 m | |||
| 重量 kg（磅） | ISO 63 CFF 4.5" CFF 2.75" KF 40 | 2.05 (4.50) 3.50 (7.70) 3.34 (7.35) 2.37 (5.22) | ||
| 规范符合性 | ||||
| CE、C-CSA-US、RoHS 符合 2011/65/UE 要求 | ||||
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