北京圣德威科技有限公司生产的大型等离子清洗机主要应用于半导体、微电子、光电科技、航天技术、汽车内饰生产等行业，为您提供一套完整的工业级等离子处理解决方案。
主要特点：
- 可实现批量生产、重复性一致性好、生产过程数据监控；
- 分层式工装结构处理效果好、均匀性高；
- 真空腔体容量从60升至上万升，满足各个行业的量产需求；
- 高度集成化控制，可实现“一键操作"。
60L等离子清洗机
- 真空腔体：W400mm×H400mm×D400mm 约64L
- 低频电源：13.56MHz 0-600W （可选装40KHz 0-1500W）
- 外形尺寸：W600mm×H1700mm×D800mm
- 外部供电：AC380V 50-60Hz
- 控制系统：触摸屏控制
- 工艺气体：2气路 MFC（可选装3路）
- 真空泵：抽速约30m3/h
80L等离子清洗机
- 真空腔体：W420mm×H400mm×D500mm 约84L
- 低频电源：13.56MHz 0-750W （可选装40KHz 0-2000W）
- 外形尺寸：W800mm×H1800mm×D800mm
- 外部供电：AC380V 50-60Hz
- 控制系统：触摸屏控制
- 工艺气体：2气路 MFC（可选装3路）
- 真空泵：抽速约40m3/h
100L等离子清洗机
- 真空腔体：W400mm×H400mm×D625mm 约100L
- 低频电源：13.56MHz 0-100W （可选装40KHz 0-200W）
- 外形尺寸：W800mm×H1700mm×D800mm
- 外部供电：AC380V 50-60Hz
- 控制系统：触摸屏控制
- 工艺气体：2气路 MFC（可选装3路）
- 真空泵：抽速约60m3/h
150L等离子清洗机
- 真空腔体：W300mm×H300mm×D370mm 约30L
- 低频电源：13.56MHz 0-1250W （可选装40KHz 0-2000W）
- 外形尺寸：W800mm×H1700mm×D800mm
- 外部供电：AC380V 50-60Hz
- 控制系统：触摸屏控制
- 工艺气体：2气路 MFC（可选装3路）
- 真空泵：抽速约60m3/h
