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品 牌
厂商性质其他
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更新时间:2023-10-08 10:29:16浏览次数:31次
产品分类 品牌分类
全部产品列表
经营模式:其他
商铺产品:7条
所在地区:
低温等离子·经典桶型
低温等离子·经典桶型。 PR500:手动控制 PR510:自动触摸屏控制 内槽 硅晶圆灰化状态 低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款小型紧凑型的等离子处理设备。 ● 去除光刻胶 ● 部品清洗 ● 界面活性处理 ● 微研磨 ● 硅晶圆,玻璃基板对应 用途 ● 大口径(Φ215mm)石英反应腔 ● 小型一体化设计 规格:
型号
PR500
PR510
等离子模式
DP模式,桶形
高频输出功率
Max500W
频率
13.56MHz
同调方式
自动协调
反应腔
石英Φ215×305mm
反应气体
2系统(O2/CF4)
控制
手动
触模屏自动控制
配管材质
不锈钢、特氟龙
外形尺寸
W438 x D520 x H760mm
参照规格书
重量
约60kg
电源
单相AC100V 9A
三相AC200V 8A
YAMATO等离子清洗机PDC200
YAMATO等离子清洗机PDC510
YAMATO等离子清洗机V1000
YAMATO等离子清洗机PR500
YAMATO等离子清洗机PR1000
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