产品描述
- 派迅智能Stocker晶圆存储柜主要用于洁净室内半导体生产工序及工序之间晶圆盒的存储，根据无尘室可利用空间，灵活定制各类型STK，实现空间。根据客户需求，可支持带净化功能。
苏州派迅智能科技有限公司
苏州派迅智能科技有限公司
产品描述派迅智能Stocker晶圆存储柜主要用于洁净室内半导体生产工序及工序之间晶圆盒的存储，根据无尘室可利用空间，灵活定制各类型STK，实现空间
| 类 别 | 产 品 参 数 |
| 洁净度 | 客户定制 |
| 温度 | 双立柱地面支撑直道型双叉双伸，单个货物 |
| 湿度 | 根据客户定制/600 kg |
| 震动 | 水平：4-150 m/min，升降：0-30 m/min，货叉：0-30 m/min |
| 负载 | SEW，水平：5 kW，起升13 kW，货叉：0.75 kW |
| 产品类型 | 水平、升降：±5 mm，货叉：±5 mm |
| 噪音 | 安全滑触线，三相四线 |
| 主行速度 | 维修（点动）、手动、自动、联机自动 |
| 上升/下降速度 | 水平：激光；垂直：条码；货叉：接近开关 |
| 定位精度 | PLC控制（三菱FX/西门子系列） |
| CT | 变频调速 |
| Port | AC, 380 V ,50 Hz |
| Port Setting | 单一和复合循环 |
| PC | 工业无线通信 |
| UPS | ≤80 dB |
| 通讯 | -5～40 ℃，<> |
| 维修平台 | STK一侧设置维修平台，方便Crane维护 |
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