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厂商性质其他
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更新时间:2023-03-24 10:48:32浏览次数:66次
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全部产品列表
经营模式:其他
商铺产品:8条
所在地区:
液体微小质量流量计/控制器 LF-F/LV-F 系列
搭载冷却检测方式的质量流量传感器
名称
质量流量计
型号
LF-F20M-A
LF-F30M-A
LF-F40M-A
LF-F50M-A
LF-F60M-A
全标度流量(g/min)
0.02/0.05/0.1
0.2/0.5
1/2/5
10/20
50/100
检测控制范围
5〜99% F.S.
对象液体种类 *1
可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。
液体粘度 *2
值. 0.1 Pa·s (100cp)
精度 *3
±1% F.S.
直线性 *3
±0.5% F.S.
重复性 *3
响应精度
3秒以内 (T98)
2秒以内 (T98)
使用环境温度 *4
5〜50℃ (15 〜 45℃精度的确保)
温度影響 Span
±0.1%F.S./℃ 值±1%
工作差压值值 *5
值. 5MPa (视为流量计) / 50〜300kPa (with piezo 控制阀)
耐压
10MPa (视为流量计)
压力損失
值. 500Pa
流量设定信号
模拟:0.25〜5 VDC(输入阻抗1MΩ以上)数字式:RS485(F-Net通信协议)
流量输出信号
模拟:0〜5 VDC(最小负荷电阻2kΩ) 数字式:RS485(F-Net通信协议)
驱动电源
+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA
外部泄漏规格
5×10-12Pa·m3/s (He)
接液部材质
SUS316L, Ni
标准接头
1/16" , 1/8" SWL类型, 1/8" VCR 类型
1/8" SWL类型, 1/8" VCR 类型
1/4" SWL类型 1/4" VCR 类型
质量流量控制器
LV-F20 (PO/MO)
LV-F30 (PO/MO)
LV-F40 (PO/MO)
LV-F50 (PO/MO)
LV-F60 (PO/MO)
值. 0.01 Pa·s (10cp)
温度影响Span
工作差压值 *5
0.05〜0.3MPa
1MPa
压力损失
ー
模拟:0.25〜5 VDC(输入阻抗1MΩ以上) 数字式:RS485(F-Net通信协议)
PO 类型:1×10-8Pa•m3/s (He) MO 类型: 5×10-12Pa•m3/s (He)
PO 类型:SUS316L, Ni, PTFE, PFA MO 类型: SUS316L,Ni
*1: LF-F/LV-F系列质量流量控制器利用1种液体进行了流量校正 (请预先所使用 的液体。) ・不能检测含有固体物的液体。・如果混合液中混合比会发生变化时,请预*行咨询协商。・LV-F系列质量流量控制器如果在对象液体中含有粒子等时,请在一次端(入口端) 安装0.2μm(Abs.)以下的过滤器。 *2: LF-F类型质量流量控制器根据流量量程,可以适用到 值, 0.1Pa•s。有关高粘度的液体请预*行咨询协商。*3: 以SEMI E56-1296 为准。 *4: 进行测量・控制的液体温度如果低于环境温度时,使用时请把温差控制在10℃以 内;如果高于液体温度时,使用时请把温差控制在3℃以内。 *5:这是在粘度0.001Pa・s中的F.S.流量值。
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