上海新诺仪器集团有限公司
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等离子腔体为Ø160mm×190mm的石英腔体，采用的射频电源功率3.0MHz（1%），输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物
沈阳科晶 PCE-6 小型等离子清洗机
仪器概述：
PCE-6 小型等离子清洗机的等离子腔体为 Ø160mm×190mm的石英腔体，采用的射频电源功率3.0MHz（ 1%），输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同时也可改变物体表面的性质（如亲水和疏水性等），对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。
主要技术参数：
产品型号 | PCE-6小型等离子清洗机 |
主要特点 | 1、通过控制面板的按键及开关，可控制调节射频功率、真空泵的开闭、清洗时间。 2、时间、功率、真空度等信息显示在一组4位数码管上。 3、设有一个三通阀，可精确控制进气流量，以及大气流清洗腔体，进气接口为6mm卡套接口。 4、选用大功率射频电源设备可进行等离子刻蚀和等离子灰化实验。 |
技术参数 | 1、电源：AC220V 50/60Hz 2、输出功率：7.2W、10.2W、29.6W 3、真空泵功率：<500W 4、总功率：<600W 5、射频频率：3.0MHz，功率3档可手动调节 6、等离子腔体：高纯石英腔体Ø160mm×190mm，采用铝制折叠式法兰进行密封，法兰上设有Ø45mm 的观察窗 7、真空泵：240L/min，直连式双旋真空泵 8、极限真空度：50mtorr 9、通入气体：可通入多种气体来产生等离子，如N2、Ar、H2、O2、Air和混合气体等（根据材料性质选定） |
清洗及蚀刻 |
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产品规格 | 1、尺寸：400mm×300mm×300mm 2、重量：10.2kg |
可选配件 | A、2"-6"石英舟（盛放基片） B、2-4通道质子或浮子混气系统 |
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