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PDC-36G 3英寸迷你型等离子清洗机

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更新时间：2024-02-15 10:16:11浏览次数：26次

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产品简介

PDC-36G等离子清洗机是一种紧凑型、低成本的等离子清洗机

详细介绍

PDC-36G 等离子清洗机是一种紧凑型、低成本的等离子清洗机。使用空气、氧气、氩气等离子去除纳米级有机物污染。在射频电源的作用下，去除速率每分钟10纳米。在单晶材料外延薄膜生长以前进行预处理，对生长具有显著的作用。

性能指标和基本配置
主要特点	● 结构紧凑、小型化的桌上型仪器 ● 用各种气体清洗和去除晶片上纳米级有机污染物。 ● 在制膜实验之前预先清洁镀膜基底的优秀工具。清洗后镀膜的质量可以更好。 ● 铰链式门，方便装样 ● 石英腔的直径是3英寸，在里面可以放入一个石英舟，清洗一个2英寸的基片。 ● 清洗腔里面的石英管可以拆卸，方便清洗和更换 ● 使用可调射频电源，可以设置功率为低、中、高级别；低成本、操作安全。
主要参数	● 低功率设定：直流680V，10mA,6.8W; ● 中功率设定：直流700V，15mA,10.5W; ● 高功率设定：直流720V，25mA,18W; ● 射频源输出频率：13.56MHz; ● 等离子直流电源： ● 输入电压：220V,50Hz
等离子腔室	● 直径75mmx长200mm的石英墙体，前盖可以开启。 ● 高纯度石英腔体，使用寿命比玻璃长。
真空计	设备标配一个数显电阻真空机用于实时监测清洗仓内的真空度。
可选配件	● 您可以订购额外的石英腔体，用于备用。 ● 如果需要一个通入两种气体的工艺解决方案，PDC-36G等离子清洗机可以与2路混气系统组合（点击下面张图片了解详情） ● 您可以订购石英晶片载体来清洁2英寸晶片
真空泵和阀	此设备不包含真空泵。
工作气体	● 多种气体可以用于等离子清洗，例如氮气、氩气、空气、混合气体，主要取决于处理何种材料。 ● 可以使用<4％的H2混合惰性气体 ● 警示：不能使用可燃性及腐蚀性气体。
等离子清洗及刻蚀的方法
外形尺寸	353mm（L）x380mm（W）x225mm （H）
净重	（不含泵）8kg
工作原理	等离子清洗机工作原理
质量认证	CE认证
保修期	一年保修，终身技术支持。特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。点击查看售后服务承诺书。