产品描述
- 派迅智能Stocker晶圆存储柜主要用于洁净室内半导体生产工序及工序之间晶圆盒的存储，根据无尘室可利用空间，灵活定制各类型STK，实现空间。根据客户需求，可支持带净化功能。
苏州派迅智能科技有限公司
苏州派迅智能科技有限公司
产品描述派迅智能Stocker晶圆存储柜主要用于洁净室内半导体生产工序及工序之间晶圆盒的存储，根据无尘室可利用空间，灵活定制各类型STK，实现空间
| ITEM | SPECIALIFICATION |
| 洁净度 | Class 100-1000 |
| 温度 | 23±2℃ |
| 湿度 | 45±5% |
| 震动 | ≤0.5G |
| 负载 | 15Kg |
| FOUP SIZE | 300MM FOUP |
| 噪音 | ≤75DB |
| 主行速度 | Max：120m/min |
| 上升/下降速度 | Max：96m/min |
| 定位精度 | ±0.5mm |
| 取/放节拍 | ≤8sec |
| 平均节拍 | ≤20sec |
| Port | AUTO PORT/MANUAL PORT |
| Port Setting | Auto Teaching |
| 顶部 | 敞开式/封闭式 |
| PC | 2台 （双机热备） |
| UPS | 1台（能给主机信号，断电后SCS电脑自动关机） |
| 通讯 | Ethernet |
| 维修平台 | STK一侧设置维修平台，方便Crane维护 |
您感兴趣的产品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
物流技术网 设计制作，未经允许翻录必究 .
请输入账号
请输入密码
请输验证码
