变压吸附制氧设备自进入工业化以来，技术发展迅速，由于其价格性能比在中低产量范围及纯度要求不太高的场合具有较强的竞争力，因此被广泛地应用于炼钢助熔、高炉富氧、纸浆漂白、玻璃炉窑、废水处理等领域。国内对这项技术的研究起步较早，然而在较长的一段时间内发展相对较缓。自进入九十年代以来，变压吸附制氧设备的优越性逐渐被国人认可，近几年各种流程的设备相继投产。变压吸附主要发展方向之一是减少吸附剂的用量，提高设备的生产能力，而制氧用分子筛的改良研究一直是循高氮吸附率的方向进行，因为分子筛的吸附性能是变压吸附的基础。
品质优良的分子筛应具有高的氮氧分离系数及饱和吸附容量，WFB无密封自吸泵同时应具有较高的强度。变压吸附另一主要发展方向是采用短周期循环，这不仅需要品质优良的分子筛做保证，同时应通过对吸附塔内部结构的优化，以避免由此而可能造成产品出气不顺及吸附塔内气体浓度分布不均的弊端，而且对切换蝶阀也提出了更高要求。
在众多变压吸附制氧流程中，大体上可归纳为PSA、VSA、VPSA三种。PSA即超大气压吸附常压解吸流程，优点是机组简单且对分子筛要求低，缺点是能耗太高，宜在小型设备上使用；VSA即大气压吸附真空解吸流程，优点是能耗低，缺点是设备相对复杂，总投资昂贵；VPSA即穿透大气压真空解吸流程，优点是能耗较低，分子筛利用率高，设备总投资相对于VSA流程要低得多，缺点是对分子筛和阀门的要求相对较高
