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潘宁真空计

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更新时间:2023-05-21 11:28:01浏览次数:41次

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产品简介

益处测量范围广

详细介绍

益处

  • 测量范围广,从 1 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴(7.5 x 10-10 至 7.5 x 10-3 托)
  • 全金属冷阴极传感器(潘宁),带陶瓷馈入装置
  • 创新的电极几何形状提供优良的点火属性
  • 等离子点火后降低的高压和钛阴极板可减少污染危险,即使在有氩气的溅射运行中
  • 阳极环和钛阴极可轻松进行清洁或更换
  • 极小化真空计附近的磁场强度
  • 用于电源接通和等离子体点火的 LED 指示器
  • 对数模拟输出信号
  • 现场总线接口(Profibus DP、DeviceNet)允许使用网络通信将真空计轻松集成到真空系统中

典型应用

  • 高真空压力监控
  • 蒸发溅射系统
  • 高真空范围内的一般真空测量和控制


    规格

    类型

    PEG100

    测量范围

    1 x 10-9 to 1 x 10-2

    精度

     

    10-8 至 10-4 毫巴

    % of reading

    ±30

    压力,更大(**)

    bar

    10

    温度

     

    运行(环境)

    °C

    +10 to +50

    贮存

    °C

    -20 to +75

    无电子设备,烘烤

    °C

    350

    带电子元件,在法兰处烘烤

    °C

    70

    供应

     

    电压

    V (dc)

    14.5 to 36

    消耗,更大

    W

    <2

    输出信号模拟

     

    输出信号

    V

    0 to 10.6

    测量范围

    V

    0.66 to 10

    电压与压强之间的关系

    volts per decade

    1.333

    连接器

    FCC 68, female, 8 pin (shielded)

    电缆长度,更大(模拟)

    m (ft.)

    100 (330)

    暴露于真空的材料

    Stainless steel, CrNi, AI2O3, NiFe, Mo, Cu, Ni, Ti

    内部容积

    cm(in.3)

    21 (1.28)

    重量,接近

    g

    500

    保护类型

    IP40

    DeviceNet

     

    设备类型

    generic

    显示对等网络传讯

    no

    I / O 对等传讯

    no

    配置一致性值

    no

    默认节点恢复

    no

    波特率

    kBaud

    125 / 250 / 500

    主板 扫描器

    no

    I / O 从属传讯: 位触发

    yes

    I / O 从属传讯: 轮询

    yes

    I / O 从属传讯: 周期

    yes

    I / O 从属传讯: 状态改变 (COS)

    yes

    DeviceNet™ 电源

    V (dc)

    11 to 25

    DeviceNet™ 连接器

    Phoenix Combicon, 5 pin

    Profibus DP

     

    支持的波特率(自动检测)

    kBaud

    9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 / 1500

    扩展的用户参数数据

    byte

    5

    配置: 输入输出数据数量

    2

    同步模式和冻结模式

    Yes

    Profibus 的连接器

    D-sub, 9 pin

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