武汉顿杰测量仪器有限公司
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JKNL-B220滑轨式真空管式炉是专为化学气相沉积法制备石墨烯片而设计的，该炉搭配质量混气系统、高（低）真空系统组成CVD系统，可以通过滑动炉体来实现快速升降温，配置不同的真空系统来达到所需的真空度，同时通过四路高精度质量混气系统控制不同气体。
JKNL-B220滑轨式真空管式炉
设备介绍：
JKNL-B220滑轨式真空管式炉是专为化学气相沉积法制备石墨烯片而设计的，该炉搭配质量混气系统、高（低）真空系统组成CVD系统，可以通过滑动炉体来实现快速升降温，配置不同的真空系统来达到所需的真空度，同时通过四路高精度质量混气系统控制不同气体。
炉体采用双层壳体结构，壳体间配有风冷系统，能有效的降低炉壳表面温度。炉底以直线轨道为平台，通过轨道实现炉体自由滑动；反应区采用石英管结构，石英管直径60mm,石英管通过CVD专用法兰密封，内置基片做为基底，前驱反应气体通过石英管内发生CVD反应，生成石墨烯。
设备用途：
JKNL-B220滑轨式真空管式炉是生长石墨烯研制的专用炉，也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验。
JKNL-B220滑轨式真空管式炉
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| 基本参数 | 产品型号 | JKNL-B220 | 加热区尺寸 | 400mm | |||||
| 极限温度 | 1200℃ | 工作温度 | ≤1100℃ | ||||||
| 表面温度 | <>60℃ | 控温精度 | ±1℃ | ||||||
| 功率 | 3KW | 工作电压 | 单相220V | ||||||
| 开门方式 | 上开式 | ||||||||
| 外形尺寸 | 深 * 宽 * 高 （mm） 600 * 1300 * 1300 | ||||||||
| 设备重量 | 150Kg | ||||||||
| 壳体结构 | 双层，壳体间风扇制冷，可使炉体表面快速降温。 | ||||||||
| 节能效果 | ★ 保温时仅需40%功率 | ||||||||
| 数据显示模式 | LED数显仪表 | ★ 可选配豪华型智能触摸屏仪表，实时曲线显示，也可用U盘导出数据，在电脑上安装查看软件 |
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| 控制模式 | 智能PID调节、模糊控制、自整定功能 | ||||||||
| 温度曲线 | 30段可编程控制，可设置30段升降温程序 | ||||||||
| 测温元件 | K型热电偶 | ||||||||
| 加热元件 | 优质掺钼铁铬铝合金加热丝 环形加热，温场均匀，能耗低 升温速率建议:10℃/Min Max:20℃/Min | | |||||||
| 炉膛保温材料 | 1500型高纯氧化铝微晶体纤维，保温性能好 | ||||||||
| 售后服务 | 12个月质保（相关易耗件除外），终身保修 | ||||||||
| 包装方式 | 三合板木质包装箱 | ||||||||
| 电 源 线 | 标配2米 若需更长，请购买设备时提前说明，需另购 | | |||||||
| 坩 埚 | 我司有各种规格的坩埚，需要可咨询业务人员 | ||||||||
| 炉体尺寸 | 620mm（长）*420mm（宽）*520mm（高） | ||||||||
| 设备重量 | 180Kg | ||||||||
| 控制方式扩展 | ★ 可选配485转换接口，实现与计算机相互连接。选配专用的电脑控制系统来完成与单台或多达200台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能。为客户提供方便，本公司也可以代购电脑。 | | |||||||
| 真空度 | A.若使用VP系列单级旋片机械泵+CF法兰+针型阀，则真空度可达100Pa B.若使用2XZ系列双级旋转机械泵+KF法兰+真空球阀，则真空度可达10Pa | ||||||||
| 随机配件 | 防护手套1双；坩埚钳1把；刚玉舟1只；石英管；炉塞；炉勾；6号内六角（法兰专用）；法兰一套；配套气管；高温密封圈8个；产品说明书1份；仪表说明书1份；保修证书1份。 | ||||||||
质量流量控制器
工作电压：220V
输出功率：18W
质量流量计量程：
控制器1：0-100 SCCM
控制器2：1-199 SCCM
控制器3：1-199 SCCM
控制器4：1-499 SCCM
可任意选择量程（5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM）
工作温度：5-45 ºC
压力：3* 10^6 Pa
准确度：±1%FS
机械压力表测量范围：-0.1-0.15MPa(0.01 MPa/grid)
针型阀：304不锈钢
混气罐：Φ80*120MM
截止阀：Φ1/4 304不锈钢
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