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产品型号
品 牌
厂商性质其他
所 在 地
更新时间:2023-05-28 12:31:04浏览次数:79次
产品分类 品牌分类
全部产品列表
经营模式:其他
商铺产品:79条
所在地区:
联系人:张经理
技术应用链接:特点:低压等离子系统
· 低压等离子系统,用于不同材料表面的处理
· 配置自动/手动模式,实现控制高机能
· 4” Wafer去胶清洗
· 适合于研究院、高校、研发中心使用
· 操作简单易使用
型号
PICO
PICO PCCE
控制系统
手动控制
PCCE 控制系统
工艺气路
双路或三路气体
工艺气体
O2,Ar,N2,CO2,H2,Air等非腐蚀性气体或者CF4 、SF6等腐蚀性气体
单体导入
H2O,亲疏水涂层等单体(选配)
流量计
针阀流量计(防腐蚀)
MFC流量计(防腐蚀)
真空
腔体
材质
高硼硅玻璃/石英
盖子门/铰链门带观察窗
不锈钢
铝合金
铰链门
圆形腔体内尺寸(Φ×D)mm
150×320(600) *1
130×300( 600) *1
—
方形腔体内尺寸 (W×D×H)mm
160×325( 600) *1×160mm
150×325(600)*1×160
容积
5.6L~10.6L
8L~15L
7.8L~14L
电极
360度外置环绕电极
平行平板电极
发生器*
40 kHz 0-200W
100 kHz 0-500W
13.56 MHz 0-50W 或者 0-100W 或者0-300W
2.45 GHz 0-300W
真空压力计
指针式压力计
皮拉尼数字式压力计
计时器
模拟数字式
数字式
托盘
高硼硅玻璃,石英,不锈钢,铝合金
外形尺寸(WXDxH)mm
560x600-750x460-860mm
电源
AC220V 50Hz 10A
真空泵
排气速度不小于8m3/H
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