特点：
◆高精度
◆高信赖和可靠性
◆耐腐蚀设计
◆采用金属密封材质
◆VCR、Swagelok互换的气路接口
◆10SCCM－200SLM满量程范围
◆方便的互换性
◆高速应答优秀的统一性，目前世界上有大约7万只在运行中的产品，内的返修率不到0.5%,广受客户赞誉
◆方便的互换性
技术参数：
| 性能指标 | FC-R7800CD/FC-R7800D系列 | FC-R7810CD/FC-R7810D系列 | FC-R7820CD/FC-R7820D系列 |
| 满量程范围 | 10Sccm-5Slm | N/O:6-20slm* N/C:6-50slm** | 35-200Slm |
| 响应时间 | 满流量的±2%范围内,小于2秒 | 满流量的±2%范围内,小于3秒 |
| 精度 | ≤±1%满量程 | ≤±2%满量程 |
| 线性镀 | ≤满量程±0 5% | ≤满量程±0 5% ＃1 | ≤满量程±1% |
| 重复性 | ≤满量程±0.2% |
| 泄漏率 | 1X10E-11 Pa.m ³/sec |
| 控制范围 | 满流量的2%-5% #2 |
| 压差 | 49Kpa-275Kpa | 69Kpa-275Kpa 98Kpa-275Kpa | 147Kpa-275Kpa |
| 正常工作压 力 | 490Kpa |
| 进气压力 | 980Kpa |
| 温度范围 | 5-45℃(41-113℉) |
| 输入电源 | +15VDC±2% 25mA -15VDC±2% 180mA | +15VDC±2% 25mA -15VDC±2% 200mA |
| 功率 | 3.1W max | 3.5W max |
| 输入信号 | 0-5 VDC |
| 输出型号 | 0-5 VDC |
| 控制阀形式 | 常开或常闭电磁阀 |
| 密封件 | 金属密封 |
| 材质 | 316L，316，PTFE，不锈钢（氟橡胶，氯丁橡胶） |
| 标准接口 | 1/4"VCR和Swagelok兼容 | 3/8"VCR,1/4"VCR |
| 重量 | 1.0KG | 2.7KG |
＃1满量程流量值大于30SLM线性度≤满量程±1%
＃2满量程流量值大于150SLM控制范围为5%-99%
＃3满量程流量值大于150SLM压差范围为147-296Kpa
