江南仪器为您提供奥林巴斯激光共聚焦显微镜LEXT OLS4100的方案介绍:
奥林巴斯激光共聚焦显微镜LEXT OLS4100是一款激光扫描显微镜,通过非接触的方式进行样品表面三维形貌观察和测量。分辨率达10nm,可以方便快捷地获取影像,同时配备丰富的测量功能。
采用了有着高N.A. 的专用物镜和专用光学系统(能限度发挥405 nm 激光性能),LEXT OLS4100 可以精确地测量一直以来无法测量的有尖锐角的样品。这有利于粗糙度的测量。
由于采用405 nm 的短波长激光和更高数值孔径的物镜,OLS4100 达到了0.12 μm 的平面分辨率。因此,可以对样品的表面进行亚微米的测量。结合高精度的0.8 nm 的光栅读取能力和软件算法,例如奥林巴斯开创的I-Z 曲线(请参阅第23 页),OLS4100 可以分辨出10 nm 的高度差。
OLS4100 采用了双共焦系统,结合高灵敏度的探测器,那些具有不同反射率材料的样品,也能在OLS4100 上获得鲜明的影像。
适用于透明层
多层模式
LEXT OLS4100 全新的多层模式则可以识别多层样品各层上反射光强度的峰值区域,并将各层设为焦点,这样即可实现对透明样品上表面的观察和测量,而且也可以对多层样品的各层进行分析和厚度测量。
观察/测量透明材料的各个层
多层模式可实现对透明样品的顶部的透明层进行观察和测量。即使在玻璃基片上覆有一层透明树脂层,也可测量出各层的形状和粗糙度以及表面覆膜的厚度。
LEXT 专用物镜
奥林巴斯激光共聚焦显微镜LEXT OLS4100技术规格:
此设备为专为在工业环境下实施检测设计的A 类设备。如在住宅区内使用可能会干扰其他设备。