先锋科技（香港）股份有限公司
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劳厄单晶取向测试系统，实时确定晶体方向，精度高达0.1度；PSEL 软件定向误差低至 0.05度；
劳厄单晶取向测试系统：
水平放置系统
特征 | 优点 |
<200um 光束尺寸 | 可测量小 晶体 |
电动位移台 | 可沿生长轴轴向扫描 |
电动角位移 | 与同步加速器/中子设备直接兼容 |
手动角位移 | 与切割刀具直接兼容 |
垂直放置系统
特征 | 优点 |
<200um 光斑 | 适用于小晶粒的多晶结构 |
大范围电动线性扫描位移台 | 允许自动晶圆mapping或多个样品 |
电动Z 轴驱动 | 适用大尺寸晶棒或样品 |
手动角位移 | 允许定位到+/- 0.02度精度 |
配备PSEL CCD 背反射劳厄X-RAY 探测器：
劳厄影像校准软件：
系统附件包括：
典型劳厄衍射应用图样：
劳厄单晶取向测试系统应用方向：
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