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产品型号IAVB
品 牌
厂商性质其他
所 在 地
更新时间:2023-12-26 10:13:17浏览次数:31次
产品分类 品牌分类
全部产品列表
经营模式:其他
商铺产品:95条
所在地区:
既保持了高真空阀原本的可靠性,还能进行可实现多种工艺的压力控制。行业半导体制造工序(前工序)半导体制造工序(后工序)
【可进行缓慢排气控制】与通常的ON/OFF真空阀和两段排气真空阀相比,实现了固定比率的缓慢排气。
【新增压力控制功能】以可靠性高的真空阀为基础,增加压力控制功能。真空时的压力调节无需减压阀和可变漏阀。通过采用截止阀方式,以O形圈密封结构实现了蝶阀不擅长的全闭动作。
【维护简便】阀和电装部可分别维护。
电动真空阀
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