| 质子流量控制器 | 工作温度:5~45ºC 压力:3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 线性: ±(0.5-1.5)%F.S.重复精度: ±0.2%F.S. 流量范围: 一路:1~199 SCCM 二路:1~499 SCCM 注意:其他流量范围的可定制,需额外费用 | 工作温度:5~45 ºC 压力: 3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 线性: ±(0.5-1.5)%F.S. 重复精度: ±0.2%F.S. 流量范围: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~499 SCCM 注意:其他流量范围的可定制,需额外费用 | 工作温度: 5~45 ºC 压力:3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 线性: ±(0.5-1.5)%F.S.重复精度: ±0.2%F.S. 流量范围: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM 注意:其他流量范围的可定制,需额外费用 | 工作温度: 5~45 ºC 压力: 3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 线性: ±(0.5-1.5)%F.S. 重复精度: ±0.2%F.S. 流量范围: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM 五-九路可按照客户要求定制 |