组合泵浦

1.       结合高低压泵浦的特性，具备高低压力并用的功能。

2.        叶片泵浦省能源，低噪音平稳的特性，搭配齿轮泵浦高效率的性能，是工程师在系统设计时的优良选择。

3.        节省体积，缩小机械空间，节省能源。

4.        性能优异的齿轮泵浦可作为高压泵浦或系统冷却用。

5.        标准法兰安装及维护容易。

6.        性能参数请参考相关之各别泵浦。

标准

1.JB/T10771-2007真空技术复合分子泵；

2.JB/T9125-2007真空技术涡轮分子泵；

3.SJ3192-1989立式涡轮分子泵型式与基本参数；

4.SJ/T10097-1991F-250/1400型立式涡轮分子泵；

5.SJ/T11085-1996立式涡轮分子泵通用技术条件；

6.GB/T7774-2007真空技术涡轮分子泵性能参数的测量

组合泵浦启动涡轮分子泵(需先接通冷却系统)。如果分子泵入口处装有液氮冷阱，则应在泵加速到额定转速后(一般需5~10min)加注液氮。粗抽系统的配置随真空室的容积的大小而有所不同。对500L/s或更小的涡轮分子泵来说，可采用一台双级旋片泵；1000L/s以上的涡轮分子泵则采用以机械泵为前级泵的罗茨泵机组。在压力为100到150Pa时关闭粗抽阀，把真空室切换到涡轮分子泵上。对某些泵，这样做会引起轻微而滞后的瞬时减速，但这对抽气并无影响。正如扩散泵抽气系统那样，涡轮分子泵系统中的主要的物质是水蒸气，其抽气时间将受液氮冷阱抽速的支配。