主要规格

観察方法

光切断方式(利用狭缝光学系统测定深度高度)

■物镜

固定倍率10倍(5倍、20倍)

軸駆動方式

基于点光的AF连续追踪方式(离线时可手动测量)

投射缝隙

10um半反光镜型

Z轴测量

Z轴数字线性仪表0.1阅读

重复精度

~1微米以内

使用光源

半导体激光器(类2)、卤素光源

自动捕捉表示截面形状的细狭缝光、红色激光斑点、阶梯差的变化，Z

轴功能迅速跟随，进行测定数值的数字显示(自动聚焦)·系统)功能

与电子线方式的基准线相结合，扩大了测量范围，提高了利用价值，是

新型的深度高度测量机。